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単結晶PLZTウエハ・PLZTデバイス
独自の「固相エピタキシャル成長法」により、高品質な単結晶PLZT薄膜をサファイア基板上に成膜するプロセスを確立。 PLZTとは、電気光学効果が非常に高いという特性を持った、鉛(Pb)、ランタン(La)、ジルコニウム(Zr)、チタン(Ti)からなる酸化物材料。
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単結晶PLZTウエハの概要
| 基板材料 | サファイア |
|---|---|
| 基板サイズ | 2 インチ、4 インチ（厚みは約 500μm） |
| PLZT 組成※1 | 9/65/35 |
| PLZT 膜厚 | 100～2,000nm |
| PLZT 屈折率※2 |
2.438（波長 1550nm） 2.446（波長 1310nm） |
| PLZT 電気光学効果 | ＞ 100～150 pm/V |
PLZTデバイス
エピフォトニクス株式会社のウェブサイトで詳細な情報をご覧いただけます。
PLZT超高速光スイッチ
PLZT薄膜を光導波路として利用することで、10ナノ秒超高速スイッチと低消費電力を実現。様々な応用が期待できます。